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극자외선(EUV) 노광기술

2019.11.28 22:23

webmaster 조회 수:6211

기술분야 극자외선(EUV) 노광기술 
연구실명 나노공정및소자연구실 
소속기관 한양대학교 공과대학 
책임자 안진호 교수 
연구실명 나노공정및소자연구실 소속 기관 한양대학교 공과대학
홈페이지

http://msenano.hanyang.ac.kr/

전화번호 +82-02-2220-0407
기술분야 극자외선(EUV) 노광기술
책임자 안진호
구성원박인성, 이원영
주요 연구 분야 극자외선(EUV) 리토그래피
실적 주요 국내 해외 저널에 매년 논문 기고

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목록
번호 제목 연구실명 소속기관 책임자
12 수직형 디램 나노배향바이오전자연구실  KAIST  최양규 교수 
11 뉴로모픽 지능반도체디스커버리연구실  성균관대학교 공과대학  조형균 교수 
10 반도체 소자 반도체 메모리연구실  연세대학교 공과대학  손현철 교수 
9 ReRAM 응집물리연구실  서울대학교 공과대학  채승철 교수 
8 열처리 시뮬레이션 마이크로제조 및 멀티스케일시뮬레이션 연구실  포항공대 공과대학  박성진 교수 
7 광학 소자 광학재료 및 소자연구실  연세대학교 공과대학  오훈정 교수 
6 바이오 소자 바이오나노소재  성균관대학교 공과대학  이정헌 교수 
5 플라즈마 장치 BIO-IT마이크로팹연구소  연세대학교 공과대학  오훈정 교수 
4 반도체 소자 반도체연구실  연세대학교 공과대학  고대홍 교수 
» 극자외선(EUV) 노광기술 나노공정및소자연구실  한양대학교 공과대학  안진호 교수 
2 반도체 소자 및 응용 Dielectric Thin Fim Laboratory  서울대학교 공과대학  황철성 교수 
1 박막 소자 제조 기술 박막실험실  서울대학교 공과대학  김형준 교수