2019.11.29 23:55
기술분야 | 플라즈마 장치 |
---|---|
연구실명 | BIO-IT마이크로팹연구소 |
소속기관 | 연세대학교 공과대학 |
책임자 | 오훈정 교수 |
연구실명 | BIO-IT마이크로팹연구소 | 소속 기관 | 연세대학교 공과대학 |
홈페이지 | https://bit.yonsei.ac.kr | 전화번호 | +82-02-2123-5850 |
기술분야 | 플라즈마 장치 | ||
책임자 | 오훈정 | ||
구성원 | 김유린, 강성준 | ||
주요 연구 분야 | 플라즈마 장치 | ||
실적 | Bio, Inorganic, Organic 재료의 사용이 가능한 반도체 공정 개발 Line을 구축하여 공정개발 Line이 없는 학계, 연구계, 산업체에 공정서비스의 제공과 새로운 반도체 공정 및 측정 장비들의 개발을 지원 |
번호 | 제목 | 연구실명 | 소속기관 | 책임자 |
---|---|---|---|---|
10 | 수직형 디램 | 나노배향바이오전자연구실 | KAIST | 최양규 교수 |
9 | 뉴로모픽 | 지능반도체디스커버리연구실 | 성균관대학교 공과대학 | 조형균 교수 |
8 | 반도체 소자 | 반도체 메모리연구실 | 연세대학교 공과대학 | 손현철 교수 |
7 | ReRAM | 응집물리연구실 | 서울대학교 공과대학 | 채승철 교수 |
6 | 열처리 시뮬레이션 | 마이크로제조 및 멀티스케일시뮬레이션 연구실 | 포항공대 공과대학 | 박성진 교수 |
5 | 광학 소자 | 광학재료 및 소자연구실 | 연세대학교 공과대학 | 오훈정 교수 |
4 | 바이오 소자 | 바이오나노소재 | 성균관대학교 공과대학 | 이정헌 교수 |
» | 플라즈마 장치 | BIO-IT마이크로팹연구소 | 연세대학교 공과대학 | 오훈정 교수 |
2 | 반도체 소자 | 반도체연구실 | 연세대학교 공과대학 | 고대홍 교수 |
1 | 극자외선(EUV) 노광기술 | 나노공정및소자연구실 | 한양대학교 공과대학 | 안진호 교수 |