판매 IP


산업 분야별 판매 가능한 IP입니다.


IP 명칭 증착 장치 및 박막 증착 방법 
권리자 연세대학교 산학협력단 
발명자 또는 창작자 손현철,이다윤, 박지우, 김태호 
출원번호 10-2018-0050784 
공개번호 10-2019-0126631 
등록번호 10-2072909 
출원일 2018년05월02일 
공개일 2019년11월12일 
등록일 2020년01월28일 
IP 분야 전자통신소자 
응용 분야 및 용도 TRAM 
설명 및 특징 순차적 펄스를 통해 도펀트 가스를 챔버 내에 제공함으로써, 기존의 도핑 농도보다 상대적으로 더 낮은 도핑 농도를 얻을 수 있다. 
IP 핵심 키워드 TRAM, 증착, 도핑 농도 
종래 기술과의 차이점 기체 흐름의 양을 조절해서 도핑 농도를 낮추는 방법보다 훨씬 저농도의 도핑이 가능하다. 
사업성 또는 시장성 최근 활발히 개발 중인 TRAM 소자의 스위칭 메커니즘에서 도핑 농도를 최대한 낮추는 것은 중요한 영향을 끼치는 요인 중 하나이다. 
IP 실현단계(TRL) 사업화 
IP 거래 형태 협의 
IP 거래 희망 시기 협의 
거래 희망 금액 협의 
IP 거래 조건 협의 

증착 장치를 도시한 도면 a,b,c




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