2020.09.08 02:04
| IP 명칭 | 박막 형성을 위한 전구체 공급 장치 및 이를 포함하는 박막 형성 장치 |
|---|---|
| 권리자 | 주식회사 에이치앤이루자 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2014-0109293 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1694751 |
| 출원일 | 2014-08-21 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2017-01-04 |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 온도, 속도 및 크기 제어가 가능한 액적 형태로 액상 원료를 토출하고, 토출된 액적으로부터 기상 전구체를 형성함으로써, 박막 형성을 위한 상기 액상 원료의 낭비를 최소화하면서 다양한 면적 및 형상을 갖는 피처리체 상에 균일한 특성의 박막을 용이하게 형성할 수 있는 기상 전구체 공급 장치가 제공될 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 |
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