| IP 명칭 | 기상 증착용 반응로 및 유기 박막의 제조 방법 |
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| 권리자 | 주식회사 유니텍스 |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2012-0052196 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1376956 |
| 출원일 | 2012-05-16 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2014-03-17 |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 유기 기상 전구체를 공급하기 위한 가스 공급 유닛과 기판이 안치되는 서셉터 사이의 유기 기상 전구체의 전달 경로에 서로 인접하는 2 이상의 온도 제어 구간들(controlled temperature zone)을 제공함으로써, 유기 기상 전구체의 전달 경로를 따라, 제 1 온도 제어 구간에서는 유기 기상 전구체의 동질 핵생성을 억제하도록 온도가 제어되고, 제 2 온도 제어 구간에서는 이질 핵생성이 지배적으로 일어나도록 설정하여, 상기 기판 상에만 국지적으로 유기 기상 전구체의 응축이 활발히 일어나도록 하여, 기판 상에 균일하고 치밀한 유기 박막 형성을 유도하고, 소자 불량을 초래하는 원치 않는 응축된 거대 입자들이 유기박막에 형성되는 것을 방지하는 기상 증착 반응로가 제공될 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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