| IP 명칭 | 소스 컨테이너 및 기상 증착용 반응로 |
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| 권리자 | |
| 발명자 또는 창작자 | |
| 출원번호 | 10-2012-0031891 |
| 공개번호 | |
| 등록번호 | 10-1389011 |
| 출원일 | 2012-03-28 |
| 공개일 | |
| 등록일 | 2014-04-18 |
| IP 분야 | 전자통신소자 |
| 응용 분야 및 용도 | |
| 설명 및 특징 | 본 발명의 실시예에 따르면, 유입 포트와 배출 포트 사이에 배치되는 흐름 장벽 표면에 의해, 제 2 공간 내에서 유입 포트로부터 배출 포트까지의 가스 유동 거리가 가상 직선 경로에 비해 더 증가되어 운반 가스와 소스 재료로부터 발생한 증기의 혼합이 용이해질 뿐만 아니라 상기 제 1 흐름 장벽 표면을 따라 고온의 운반 가스가 층류 패턴을 가짐으로써 용기 내의 온도 균일성이 향상되어 용기 내 냉점이 제거되거나 감소될 수 있으며, 이로써, 상기 냉점에서 응축되거나 불완전하게 분해되어 발생하는 파티클이 억제되고 상기 반응로로 전달되는 기상 전구체의 양이 증착 과정 동안 균일하도록 유지될 수 있다. |
| IP 핵심 키워드 | |
| 종래 기술과의 차이점 | |
| 사업성 또는 시장성 | |
| IP 실현단계(TRL) | 사업화 |
| IP 거래 형태 | 매입 |
| IP 거래 희망 시기 | 협의 |
| 거래 희망 금액 | 협의 |
| IP 거래 조건 | 협의 |
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